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美国新型BAT激光器问世:EUV光刻能源效率翻倍提升!
最新美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)近日推出了一种新型大孔径铥(BAT)激光器,旨在推动极紫外(EUV)光刻技术的进步。该激光器的效率被认为超越了当前ASML EUV光刻机所使用的激...
2025-01-07【最新】
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