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发布时间：2022年09月01日 07:48:58 好文人已围观

简介EUV光刻机是半导体制造的关键设备，只有ASML公司能生产，售价约10亿人民币。过去，三星和台积电等公司争相购买，但今年半导体市场形势变化，因耗电过多，台积电计划关闭部分设备...

EUV光刻机在半导体制造领域中占据着至关重要的地位，全球唯一生产商为ASML公司，单台售价接近10亿人民币。过去，一些企业如三星和台积电争相购买EUV设备，但今年的半导体市场环境发生了变化，由于能耗过高，台积电考虑停止部分运营以降低能耗。

据产业链内部消息人士，包括手机芯片专家在内的多方反馈，先进工艺的产能利用率已出现下滑，并且预计这种下降将持续一段时间。因此，台积电计划从年底开始，有选择性地停用部分EUV设备，以减少其高昂的电力开支。

目前，台积电大约拥有80台EUV光刻机，主要应用于7nm、5nm及更先进的制造工艺。今年9月份，台积电将启动3nm工艺的量产，这些都依赖于EUV光刻机。然而，随着个人电脑、智能手机和显卡等产品的市场需求减少，先进工艺所生产的芯片必然会受到影响。

苹果今年推出的iPhone 14 Pro系列所搭载的A16处理器尚未迅速转向3nm工艺，依然采用4nm工艺。此外，苹果因3nm工艺能效问题，已取消了初代3nm芯片的生产计划。

相较于传统的DUV光刻机，EUV光刻机依赖于高能激光器，且光线需多次折射，从而造成巨大的能量损耗。早期的能效仅为0.02%，而现今量产的光刻机能效号称可以达到2%，但意味着大部分电力仍然被消耗。

EUV光刻机每天的电力需求约为3万度，一年总耗电量接近1000万度，确实是个不折不扣的“电老虎”。